距今2.7万年至3.2万年的旧石器时代，在彭阳县发现古人类活动遗址。到新石器时代，已有农业为主的氏族部落。战国时期，本地属秦国版图。最早的行政建置始于秦惠文王时期（公元前337～前311年）的乌氏县（在今原州区南），后又增设朝那县（今彭阳县古城镇）。西汉武帝元鼎三年（公元前114年）析北地郡置安定郡，郡治高平县（今原州区），共辖21县，属今本地的有高平、朝那、乌氏3县和月氏道（今隆德县境）。东汉仍仿西汉建置。西晋新置都卢县。在东晋时有高平、朝那、乌氏、都卢4县。南北朝时，本地先后为北魏、西魏、北周属地。北魏太延二年（436年）置高平镇，正光五年（524年）改高平镇置原州，并置高平郡和县，均治高平。原州领高平、长城2郡，高平、里亭、黄石、白池4县。北周置原州总管府，仍领郡2、县4。隋统一全国后，大业三年（607年）废原州暨总管府，置平凉郡，领平高（高平改）、百泉、默亭、他楼4县。唐武德元年（618年）废平凉郡复置原州，贞观五年（631年）复置原州中都督府，到天宝元年（742年）又改为平凉郡。广德年间（763～764年）没于吐蕃。宋朝属本地的有镇戎军（今原州区）、怀德军（今原州区黄铎堡乡）、德顺军（今隆德县）、西安州（今海原县西安乡）。金升军为州，改镇戎军为镇戎州，德顺军为德顺州，废怀德军和西安州。元朝设有开成路、开成州、广安州。明置固原卫和固原州。清代设有固原州、隆德县、海城县和化平川直隶厅。辛亥革命后，将固原州改为固原县，海城县改为海原县，化平川直隶厅改为化平县。1936年红军西征部队到达固原，在固原县东北部设固北县，隶陕甘宁省，此后不久即撤，回归固原县。1942年新置西吉县。中华人民共和国成立后，将化平县改为泾源县。1953年11月1日甘肃省西海固回族自治区成立，辖西吉、海原、固原3县。1955年11月改称固原回族自治州。1958年10月宁夏回族自治区成立，撤销固原回族自治州，成立固原地区行政公署，辖固原、海原、西吉、隆德、泾源5县。1983年从固原县析置彭阳县。2003年7月，改固原地区行政公署为固原市，固原县改称原州区，辖海原县、西吉县、隆德县、泾源县、彭阳县和原州区。2004年6月海原县划归中卫市。现固原市辖4县1区。
柳城县辖4个镇、10个乡：大埔镇、六塘镇、凤山镇、东泉镇、洛崖乡、古砦乡、寨隆乡、冲脉乡、马山乡、社冲乡、西安乡、沙埔乡、太平乡、龙头乡。 2000年，柳城县辖8个镇、5个乡、1个民族乡。 根据第五次人口普查数据：全县总人口356148人，其中各乡镇人口（人）： 大埔镇 49648、 龙头镇 16722、 太平镇 37545、 沙埔镇 31713 、东泉镇 42731、 凤山镇 20674、 六塘镇 29897、 冲脉镇 15586、 西安乡 12869 、社冲乡 14783 、古砦仫佬族乡 28632 、洛崖乡 17955、 寨隆乡 14845、 马山乡 22548